虹渐光电

网站首页 > 产品中心 > 纳米定位系统 > 压电定位平台 > NPS-X-15B

NPS-X-15B

超低漂移15微米级

具有亚纳米级分辨率，行程15μm

通常滞后小于0.005%，线性误差小于0.01%

第一谐振频率>3.5KHz典型值

高带宽（>300Hz）和快速响应时间

原位扫描和步进响应优化

坚固耐用、可靠性高

超殷瓦材质

产品描述

产品参数

资料下载

产品描述

NPS-X-15 薄型快速15微米平台最初是为高速、超精密磁阻磁头和磁盘驱动器检测而设计的。

它的小尺寸和毫秒级响应时间，使其非常适合高可靠性和高通量的应用。低运动质量和高刚性的结合可提供高带宽。紧凑的内置电容式传感器，能够在超过16微米的位移范围内提供亚纳米级闭环反馈。柔性铰链导向可实现高纯度的运动，将寄生运动降低至1微弧度（典型值）。使用数字闭环控制器，NPS-X-15 (不锈钢)可实现毫秒级的响应和稳定时间。

产品参数