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微型电动平台
紧凑以及准确的线性压电平台，易于安装以及操作
我们提供了一系列不同长度的精密线性平台，并提供不同的附加选择。行程可以到达100mm，应用方向广泛。采用Crossfixx™超声压电技术，速度可以达到200mm/s。非常适合扫描应用，提供恒定的扫描速度，误差小于2%。
我们的平台易于安装和使用，将平台和控制器连接可以非常简单的通过软件控制平台到达需要的位置。
根据不用的应用，我们提供不同的平台精度，从分辨率1.25 um到1nm可选。特殊的定制要求也可以满足，如高真空环境，需要将平台放置在SEM上使用，或者真空腔体之中，仍然能够保持良好的性能。使用短壳版平台，我们可以获得大的行程距离，使体积与行程比达到优异。
我们的精密线性平台通过超声压电电机驱动
得益于我们的Crossfixx技术，平台可以在停止时完成自锁，不存在任何的振动以及功耗，超声压电技术相较于其他类型的压电平台，不存在令人不悦的高频噪声，具有很好的静音效果。
我们的精密线性平台以及旋转平台都可以组成多轴结构来满足您的应用需求，安装简单，提供必要的支架。
如果在标准产品中，您无法找到满足要求的产品，请联系我们提供定制方案。
产品选型
| 型号 | 图片 | 推力 N |
行程 mm |
负载 g |
分辨率 nm |
重复精度 nm |
精度 um |
速度 |
| XLS-1 |  |
1 |
10、25、30、40、45、50、75、100 |
0.5 max. |
1250 350 80 25 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 25 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 um/s Min. 200 mm/s Max. |
| XLS-3 |  |
3 |
25、30、40、45、50、75、100 25 - 100 |
1.5 max. |
1250 350 80 25 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 25 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 um/s Min. 200 mm/s Max. |
| XVP |  |
NA |
10 |
2.5max. |
1250 - 25 |
± 1250 - ± 25 |
± 10 - ± 1 |
5um / s Min. 50 mm / s Max. |
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