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XLS系列平台结构紧凑,通过超声压电效应驱动,提供一个令人惊喜的工作寿命以及运行速度。所有的平台可以容易的组成一个多轴系统。
紧凑&准确的线性平台
XLS系列精密线性平台由超声压电电机驱动,获得微米量级的快速移动定位的能力。当平台断电的时候,还具有自锁能力,平台散热因此也大大减少。内置编码器分辨率1.25 µm。
关键特性
Crossfixx 超声压电技术
轴承:高精度交叉滚珠轴承
寿命:运行距离大于100 km
机械特性
尺寸:40 x 47.6 x 16.8 mm
标准行程:25 mm
质量:70 g (平台)
负载:<0.5 kg
锁止力:3 N
驱动力:3 N
平台材料:阳极氧化铝
导线长度:1.5 m
接头:15 针 D-sub 接头或者定制LEMO 接头
运动性能(闭环)
编码器类型:请选择编码器分辨率
光栅周期:1280 µm
编码器分辨率:1.25 µm
位置分辨率:1.25 µm
= 最小步长
= 最小可移动距离
双向重复精度:± 2.5 µm
最大速度:200 mm/s
最小速度:2-5 µm/s
速度稳定性: ± 1%
运动误差
直线度/平面度误差: ± 5-10 µm(取决于平台长度)
选配
真空(10-6 mbar)):-HV
短壳版有更大的行程:-SC
环境兼容性
温度范围:-30℃ - +70℃
湿度范围:20% - 90% 相对湿度
功耗(电机):<1W
控制器/软件
兼容Xeryon 控制
简单易用Windows软件或者LavView 驱动
C++ 以及Python libraries 提供
| 参数/型号 | 推力 N | 行程 mm | 负载 g | 分辨率 nm | 重复精度 nm | 精度 um | 速度 |
| XLS-3 | 3 |
25、30、40、45、50、75、100 25 - 100 |
1.5 max. |
1250 350 80 25 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 25 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 um/s Min. 200 mm/s Max. |
使用手册
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