DPT-E系列闭环纳米促动器
客户定制方案:
如果对产品有特殊要求,请联系我们定制。
根据不同的系统要求,我们可以提供对应的真空馈通法兰,作为一个整体一起校准。为了保证内部的可替换性,请确保馈通和控制器之间的连接,导线的材料和长度会对位置的准确性产生影响。
超高真空度选项:
DPT-E系列闭环纳米促动器可以提供真空兼容选项,这些特殊的促动器由低放气材料制造,可以承受90℃的烘烤温度。
高温选项:
DPT-E系列闭环纳米促动器能够在110℃的环境中工作,并能承受130℃的烘烤温度。由于自身发热量的降低,器件也可以在高频动态范围下工作。
无磁选项:
超殷瓦合金更换为无磁性不锈钢。
强辐射选型:
使用抗强辐射降解材料
产品描述
产品参数
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DPT-E系列纳米促动器使用电容式反馈控制,可实现精准定位。旨在提供高精密度、高准确性和高速度的纳米定位。
由DPT-E纳米促动器和完全可编程的NanoScan NPC-D-6000系列或NPC-D-5200数字闭环控制器构成的系统是最严苛应用的理想选择。该设备能够在全行程范围内移动高达60 kg的负载,电子噪声低且具有高线性度,为作动器定位的精密度、速度和准确性提供了信心。热稳定性高的超殷瓦钢结构提供了优异的位置稳定性。 DPT-E为高电压DPT-C的换代产品。其行程范围较DPT-C同等型号提升了至少25%,其他方面也有所增强。
内置校准
高负载,步进稳定时间短
行程范围大
| 参数/型号 | 材料 | 尺寸 mm | 行程 mm | 线性误差 % | 重复精度 nm |
| DPT-E-20 | 超殷瓦合金 |
44.2 x 20 |
20 |
<0.03 |
0.5 |
| DPT-E-50 | 超殷瓦合金 |
76.7 x 20 |
50 |
<0.03 |
0.6 |
| DPT-E-110 | 超殷瓦合金 |
127.8 x 20 |
110 |
<0.03 |
0.8 |
| DPTE-20-UHV | 超殷瓦合金 |
44.2 x 20 |
20 |
<0.08 |
0.8 |
| DPT-E-50- UHV | 超殷瓦合金 |
76.7 x 20 |
50 |
<0.08 |
1 |
| DPT-E-1100- UHV | 超殷瓦合金 |
127.8 x 20 |
110 |
<0.08 |
1.2 |
产品资料
软件以及二次开发
产品中心