DPT-E系

DPT-E系列闭环纳米促动器

客户定制方案:

如果对产品有特殊要求,请联系我们定制。

根据不同的系统要求,我们可以提供对应的真空馈通法兰,作为一个整体一起校准。为了保证内部的可替换性,请确保馈通和控制器之间的连接,导线的材料和长度会对位置的准确性产生影响。

超高真空度选项:

DPT-E系列闭环纳米促动器可以提供真空兼容选项,这些特殊的促动器由低放气材料制造,可以承受90℃的烘烤温度。

高温选项:

DPT-E系列闭环纳米促动器能够在110℃的环境中工作,并能承受130℃的烘烤温度。由于自身发热量的降低,器件也可以在高频动态范围下工作。

无磁选项:

超殷瓦合金更换为无磁性不锈钢。

强辐射选型:

使用抗强辐射降解材料

产品描述

产品参数

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产品描述

DPT-E系列纳米促动器使用电容式反馈控制,可实现精准定位。旨在提供高精密度、高准确性和高速度的纳米定位。

DPT-E纳米促动器和完全可编程的NanoScan NPC-D-6000系列或NPC-D-5200数字闭环控制器构成的系统是最严苛应用的理想选择。该设备能够在全行程范围内移动高达60 kg的负载,电子噪声低且具有高线性度,为作动器定位的精密度、速度和准确性提供了信心。热稳定性高的超殷瓦钢结构提供了优异的位置稳定性。 DPT-E为高电压DPT-C的换代产品。其行程范围较DPT-C同等型号提升了至少25%,其他方面也有所增强。

 

内置校准

高负载,步进稳定时间短

行程范围大

产品参数
参数/型号 材料 尺寸 mm 行程 mm 线性误差 % 重复精度 nm
DPT-E-20
超殷瓦合金
44.2 x 20
20
<0.03
0.5
DPT-E-50
超殷瓦合金
76.7 x 20
50
<0.03
0.6
DPT-E-110
超殷瓦合金
127.8 x 20
110
<0.03
0.8
DPTE-20-UHV
超殷瓦合金
44.2 x 20
20
<0.08
0.8
DPT-E-50- UHV
超殷瓦合金
76.7 x 20
50
<0.08
1
DPT-E-1100- UHV
超殷瓦合金
127.8 x 20
110
<0.08
1.2
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产品资料

使用手册

ProScan_III-v1.12 English

3.89MB

2024-10-24

下载

软件以及二次开发

Prior-PS3-USB-DRIVER

1.68KB

2024-10-24

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Prior-Terminal-2.10

19.51KB

2024-10-24

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