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MTP是一种内部预载压电开环平移装置,能够移动长达105μm,且分辨率高。
该作动器采用了高刚性设计,能够产生1000N(MTP-15)的止推力。这一特性使其能够在Z轴向上驱动高达10kg(MTP-15)的负载。只需一台0V至120VDC HV放大器即可驱动MTP作动器的整个标称行程范围。此外,如果需要,也可以通过使用-30V至150VDC HV放大器来获得扩展的行程范围。
如果需要小型化和闭环性能,可以将MTP与Queensgate的位置测量系统联用,可提供亚纳米级精度的电容式位置传感,并获得传感器独立于作动器放置的优势,能够自由地将传感器板安装在主机固定装置的任意适当位置。
| 参数/型号 | 材料 | 尺寸 mm | 行程 mm | 线性误差 % | 重复精度 nm |
| MTP-15 | 不锈钢 |
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| MTP-30 | 不锈钢 |
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| MTP-45 | 不锈钢 |
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| MTP-70 | 不锈钢 |
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| MTP-105 | 不锈钢 |
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