MTP

开环促动器

15、30、45、75或105μm行程可选,亚纳米级分辨率

低电压

紧凑小巧

高刚性

内部预载 – 高拉力

VAC和UVAC选项

多样的配件

金属防护外壳

负载可达10Kg

产品描述

产品参数

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产品描述

MTP是一种内部预载压电开环平移装置,能够移动长达105μm,且分辨率高。

该作动器采用了高刚性设计,能够产生1000NMTP-15)的止推力。这一特性使其能够在Z轴向上驱动高达10kgMTP-15)的负载。只需一台0V120VDC HV放大器即可驱动MTP作动器的整个标称行程范围。此外,如果需要,也可以通过使用-30V150VDC HV放大器来获得扩展的行程范围。

如果需要小型化和闭环性能,可以将MTPQueensgate的位置测量系统联用,可提供亚纳米级精度的电容式位置传感,并获得传感器独立于作动器放置的优势,能够自由地将传感器板安装在主机固定装置的任意适当位置。

产品参数
参数/型号 材料 尺寸 mm 行程 mm 线性误差 % 重复精度 nm
MTP-15
不锈钢
MTP-30
不锈钢
MTP-45
不锈钢
MTP-70
不锈钢
MTP-105
不锈钢
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产品资料

使用手册

ProScan_III-v1.12 English

3.89MB

2024-10-24

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软件以及二次开发

Prior-PS3-USB-DRIVER

1.68KB

2024-10-24

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Prior-Terminal-2.10

19.51KB

2024-10-24

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