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NPS-X-15A薄型快速15微米平台最初是为高速、超精密磁阻磁头和磁盘驱动器检测而设计的。
它的小尺寸和毫秒级响应时间，使其非常适合高可靠性和高通量的应用。低运动质量和高刚性的结合可提供高带宽。紧凑的内置电容式传感器，能够在超过16微米的位移范围内提供亚纳米级闭环反馈。柔性铰链导向可实现高纯度的运动，将寄生运动降低至1微弧度（典型值）。使用数字闭环控制器，NPS-X-15A(不锈钢)可实现毫秒级的响应和稳定时间。
应用：磁阻磁头和磁盘驱动器检测
干涉测量
计量
AFM探针
推荐控制器：NPC-D-5200数字控制器
NPC-D-6000系列
产品参数
| 参数/型号 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-X-15A | 不锈钢 |
15 |
3 |
0.005 |
NA. |
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