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NPS-X-28C最初是为高速、超精密磁阻磁头和磁盘驱动器检测而开发的。
它的小尺寸和毫秒级响应时间非常适合用于要求高可靠性和通量的应用。低运动质量和高刚性的结合可提供极高的带宽。
电容式传感器设计能够在超过28微米的范围内提供亚纳米级位移测量和闭环反馈。柔性铰链导向可实现高纯度的运动。使用的数字闭环控制器，NPS-X-28C可实现毫秒级的响应和稳定时间。
产品参数
| 参数/型号 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-X-28C | 钛合金 |
28 |
10 |
＜0.007 |
NA. |
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